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1.1一般规定 1.1.1 洁净厂房内各洁净室(区)的空气洁净度等级，应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定。 1.1.2 气流流型应根据各洁净室(区)空气洁净度等级和电子产品工艺特点的不同要求选用。 1.1.3 有下列情况之一者，净化空调系统宜分开设置： 1 运行班次或使用时间不同； 2 生产过程中散发的物质对其他工序、设备交叉污染，对产品质量或操作人...查看详情
